متن کامل خبر


 
جلسه دفاع از پایان‏ نامه: نادره سیفلو، گروه مهندسی الکترونیک

خلاصه خبر: ساخت نانوساختارهای سیلیکونی برای کاهش هدایت گرمایی

  • عنوان: ساخت نانوساختارهای سیلیکونی برای کاهش هدایت گرمایی
  • ارائه‌کننده: نادره سیفلو
  • استاد راهنما: دکتر سارا درباری
  • استاد ناظر داخلی اول: دکتر مروج فرشی
  • استاد ناظر خارجی اول: دکتر جواد کوهسرخی دانشگاه: تهران
  • مکان: طبقه 4، اتاق شورا
  • تاریخ: 96/04/28
  • ساعت: 8:30

چکیدههدف این پایان نامه ساخت نانوساختارهای سیلیکونی برای کاهش هدایت گرمایی سیلیکون می¬باشد. نانوساختارهای مورد نظر بدون کاهش قابل ملاحظه در هدایت الکتریکی، هدایت گرمایی را کاهش می¬دهند و برای ساخت ادوات برداشت انرژی حرارتی تلف شده در محیط بر اساس سیلیکون بسیار مناسب هستند. با توجه به اینکه رسانایی الکتریکی خوب و رسانش حرارتی کم برای تبدیل موثر انرژی حرارتی به الکتریکی لازم است، در این پروژه با ایجاد نانوساختار سیلیکونی موفق به کاهش رسانش حرارتی سیلیکون شده¬ایم که این امر کارایی ترموالکتریک افزاره های سیلیکونی را افزایش می¬دهد. برای ایجاد ساختارهای متخلخل سیلیکون، از روش CVD برای لایه نشانی سیلیکون و از روش لیتوگرافی کلوئیدی در کنار زدایش عمودی سیلیکون به روش RIE برای ایجاد الگوهای نانومتری استفاده کرده¬ایم که نسبت به روش¬های دقیق نانولیتوگرافی پروسه¬ای ساده و مقرون¬به¬صرفه برای ساخت الگوهای کاربردی نانومقیاس است و مقیاس feature size را با تغییر اندازه ذرات کلوئیدی می¬توان به¬سادگی کنترل کرد. برای ایجاد الکترودها از روش لایه¬نشانی تبخیری آلومینیم و لیتوگرافی الگوی الکترودها استفاده کرده¬ایم. در نهایت هدایت الکتریکی و گرمایی نمونه¬ها بررسی شده¬است.
کلمات کلیدیهدایت گرمایی، سیلیکون متخلخل، لیتوگرافی کلوئیدی، زدایش عمودی RIE، الکترود آلومینیم-نیکل.

26 تیر 1396 / تعداد نمایش : 263